2014年3月，我公司與中山市秉一電子科技有限公司簽訂了L4513-2-21/RZQ型擴散爐供貨合同。

       該設(shè)備采用先進的PLC控制及工控機技術(shù)、滿足特殊環(huán)境的可靠性設(shè)計要求；多層爐管進行集中管理，每層爐管將檢測、控制的各個單元組成離散控制、集中管理、自動檢測的計算機系統(tǒng)，包括對每層爐管的進出推舟、爐體爐溫及氣路控制等部分進行智能化管理，具有生產(chǎn)工藝及流程的控制單元、測試單元、運行監(jiān)視單元等，配備觸摸屏進行獨立操作，并可存儲、輸出用戶所需要的各種數(shù)據(jù)。氣源實現(xiàn)氣體流量控制，反饋檢測等功能，對工藝氣體實時檢測保護；氫，氧合成配有單獨專用控制裝置，確保氫，氧合成的安全可靠。設(shè)備有著完善的水冷散熱系統(tǒng)、廢氣收集排除系統(tǒng)等。